次微米高效率圓盤平面研磨機RG series

機器能力

RG 200

RG 500

RG 600

RG 700

RG 800

RG 2000

電磁夾頭尺寸

200mm× 200mm

Φ500

Φ600

Φ600

800mm× 800mm

1800mm×1800mm

工作台移動量
（左右x前後）

210

300

497

497

497

1400

工作台上方到主軸中心距離

411.5

538

538

538

538

890

上下最小設定單位

0.1μm

0.1μm

0.1μm

0.1μm

0.1μm

0.1μm

砂輪尺寸
（外徑×寬度×內徑）

Φ180～255×8～19×Φ50.8

Φ200～355×25～38×Φ127

Φ200～355×25～38×Φ127

Φ200～355×25～38×Φ127

Φ200～355×25～38×Φ127

Φ680×10×Φ127