產品介紹

  • CV-3200/4500

CV-3200/4500



l 藉由上下面連續測量機能,即可簡易地測量上下面。

l 搭載測定力可變機能。

l 能同步進行校正作業的簡便設計。

l 最高等級的指示精度。


機械能力

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

測定範圍

X 軸

100mm

Z1 軸 ( 檢出部 )

60mm(水平狀態 ±30mm)

Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍

300mm

500mm

檢出器 (Z1 軸:檢出部)

測長裝置

圓弧光學尺

解析度

CV-3200系列:0.04 µm、CV-4500系列:0.02 µm

測針上下作動

圓弧運動

測定方向

拉、壓兩種方向

測定面方向

CV-3200系列:上下兩種方向 ( 單獨測定)、CV-4500系列:上下兩種方向 ( 可上下面連續測定)

測定力

CV-3200測定力系列:30mN(依重量調整)、CV-4500系列:10,20,30,40,50mN(用軟體作切換)

測針追蹤角度

上升 77°、下降 83°(使用標準附屬品的片角測針時※1。依其表面性質而定。)

驅動部

測長裝置

X 軸

X軸 分離式線性規

Z2 軸(立柱)

ABS 光學尺

解析度

X 軸

0.05 µm

Z2 軸(立柱)

1µm

驅動速度

X 軸

0 ∼ 80mm/s 及手動操作

Z2 軸(立柱)

0 ∼ 30mm/s 及手動操作

測定速度

X 軸

0.02 ∼ 5mm/s

真直度 ※2

X 軸

0.8 µm/100mm

傾斜角度

X 軸

±45°

指示精度 20

CV-3200 系列

X 軸

±(0.8 + 0.01L)µm L =驅動長度 (mm) 廣範圍:1.8 µm/100mm 狹範圍:1.05 µm/ 25mm

Z1軸(檢出部)

±(1.6+|2H|/100)µm H= 從水平位置測定的高度(mm)

CV-4500 系列

X 軸

±(0.8 + 0.01L)µm L =驅動長度 (mm) 廣範圍:1.8 µm/100mm 狹範圍:1.05 µm/ 25mm

Z1軸(檢出部)

±(0.8+|2H|/100)µm H= Z1 軸(檢出部)從水平位置測定的高度(mm)


機械能力

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

測定範圍

X 軸

200mm

Z1 軸 ( 檢出部 )

60mm(水平狀態 ±30mm)

Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍

300mm

500mm

檢出器 (Z1 軸:檢出部)

測長裝置

圓弧光學尺

解析度

CV-3200系列:0.04 µm、CV-4500系列:0.02 µm

測針上下作動

圓弧運動

測定方向

拉、壓兩種方向

測定面方向

CV-3200系列:上下兩種方向 ( 單獨測定)、CV-4500系列:上下兩種方向 ( 可上下面連續測定)

測定力

CV-3200測定力系列:30mN(依重量調整)、CV-4500系列:10,20,30,40,50mN(用軟體作切換)

測針追蹤角度

上升 77°、下降 83°(使用標準附屬品的片角測針時※1。依其表面性質而定。)

驅動部

測長裝置

X 軸

X軸 分離式線性規

Z2 軸(立柱)

ABS 光學尺

解析度

X 軸

0.05 µm

Z2 軸(立柱)

1µm

驅動速度

X 軸

0 ∼ 80mm/s 及手動操作

Z2 軸(立柱)

0 ∼ 30mm/s 及手動操作

測定速度

X 軸

0.02 ∼ 5mm/s

真直度 ※2

X 軸

2 µm/200mm

傾斜角度

X 軸

±45°

指示精度 20

CV-3200 系列

X 軸

±(0.8 + 0.02L)µm L =驅動長度 (mm) 廣範圍:4.8 µm/200mm 狹範圍:1.3 µm/ 25mm

Z1軸(檢出部)

±(1.6+|2H|/100)µm H= 從水平位置測定的高度(mm)

CV-4500 系列

X 軸

±(0.8 + 0.02L)µm L =驅動長度 (mm) 廣範圍:4.8 µm/200mm 狹範圍:1.3 µm/ 25mm

Z1軸(檢出部)

±(0.8+|2H|/100)µm H= Z1 軸(檢出部)從水平位置測定的高度(mm)

※1:SPH-71(No.354884)

※2:X軸水平姿勢時

※3:本體的基本材質為花崗岩


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