CV-3200/4500
l 藉由上下面連續測量機能，即可簡易地測量上下面。
l 搭載測定力可變機能。
l 能同步進行校正作業的簡便設計。
l 最高等級的指示精度。
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機械能力 |
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CV-3200S4 |
CV-3200H4 |
CV-3200W4 |
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CV-4500S4 |
CV-4500H4 |
CV-4500W4 |
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測定範圍 |
X 軸 |
100mm |
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Z1 軸 ( 檢出部 ) |
60mm（水平狀態 ±30mm） |
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Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
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檢出器 (Z1 軸：檢出部) |
測長裝置 |
圓弧光學尺 |
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解析度 |
CV-3200系列：0.04 µm、CV-4500系列：0.02 µm |
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測針上下作動 |
圓弧運動 |
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測定方向 |
拉、壓兩種方向 |
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測定面方向 |
CV-3200系列：上下兩種方向 ( 單獨測定）、CV-4500系列：上下兩種方向 ( 可上下面連續測定） |
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測定力 |
CV-3200測定力系列：30mN（依重量調整）、CV-4500系列：10,20,30,40,50mN（用軟體作切換） |
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測針追蹤角度 |
上升 77°、下降 83°（使用標準附屬品的片角測針時※1。依其表面性質而定。） |
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驅動部 |
測長裝置 |
X 軸 |
Ｘ軸 分離式線性規 |
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Z2 軸(立柱) |
ABS 光學尺 |
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解析度 |
X 軸 |
0.05 µm |
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Z2 軸(立柱) |
1µm |
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驅動速度 |
X 軸 |
0 ∼ 80mm/s 及手動操作 |
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Z2 軸(立柱) |
0 ∼ 30mm/s 及手動操作 |
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測定速度 |
X 軸 |
0.02 ∼ 5mm/s |
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真直度 ※2 |
X 軸 |
0.8 µm/100mm |
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傾斜角度 |
X 軸 |
±45° |
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指示精度 （ 20 ℃ ） |
CV-3200 系列 |
X 軸 |
±(0.8 ＋ 0.01L)µm L ＝驅動長度 (mm) 廣範圍：1.8 µm/100mm 狹範圍：1.05 µm/ 25mm |
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Z1軸(檢出部) |
±（1.6＋｜2H｜/100）µm H＝ 從水平位置測定的高度（mm） |
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CV-4500 系列 |
X 軸 |
±(0.8 ＋ 0.01L)µm L ＝驅動長度 (mm) 廣範圍：1.8 µm/100mm 狹範圍：1.05 µm/ 25mm |
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Z1軸(檢出部) |
±（0.8＋｜2H｜/100）µm H＝ Z1 軸（檢出部）從水平位置測定的高度（mm） |
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機械能力 |
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CV-3200S8 |
CV-3200H8 |
CV-3200W8 |
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CV-4500S8 |
CV-4500H8 |
CV-4500W8 |
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測定範圍 |
X 軸 |
200mm |
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Z1 軸 ( 檢出部 ) |
60mm（水平狀態 ±30mm） |
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Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
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檢出器 (Z1 軸：檢出部) |
測長裝置 |
圓弧光學尺 |
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解析度 |
CV-3200系列：0.04 µm、CV-4500系列：0.02 µm |
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測針上下作動 |
圓弧運動 |
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測定方向 |
拉、壓兩種方向 |
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測定面方向 |
CV-3200系列：上下兩種方向 ( 單獨測定）、CV-4500系列：上下兩種方向 ( 可上下面連續測定） |
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測定力 |
CV-3200測定力系列：30mN（依重量調整）、CV-4500系列：10,20,30,40,50mN（用軟體作切換） |
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測針追蹤角度 |
上升 77°、下降 83°（使用標準附屬品的片角測針時※1。依其表面性質而定。） |
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驅動部 |
測長裝置 |
X 軸 |
Ｘ軸 分離式線性規 |
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Z2 軸(立柱) |
ABS 光學尺 |
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解析度 |
X 軸 |
0.05 µm |
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Z2 軸(立柱) |
1µm |
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驅動速度 |
X 軸 |
0 ∼ 80mm/s 及手動操作 |
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Z2 軸(立柱) |
0 ∼ 30mm/s 及手動操作 |
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測定速度 |
X 軸 |
0.02 ∼ 5mm/s |
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真直度 ※2 |
X 軸 |
2 µm/200mm |
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傾斜角度 |
X 軸 |
±45° |
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指示精度 （ 20 ℃ ） |
CV-3200 系列 |
X 軸 |
±(0.8 ＋ 0.02L)µm L ＝驅動長度 (mm) 廣範圍：4.8 µm/200mm 狹範圍：1.3 µm/ 25mm |
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Z1軸(檢出部) |
±（1.6＋｜2H｜/100）µm H＝ 從水平位置測定的高度（mm） |
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CV-4500 系列 |
X 軸 |
±(0.8 ＋ 0.02L)µm L ＝驅動長度 (mm) 廣範圍：4.8 µm/200mm 狹範圍：1.3 µm/ 25mm |
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Z1軸(檢出部) |
±（0.8＋｜2H｜/100）µm H＝ Z1 軸（檢出部）從水平位置測定的高度（mm） |
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※1：SPH-71（No.354884）
※2：X軸水平姿勢時
※3：本體的基本材質為花崗岩
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