SV-3200
l 提升使用方便性、更多功能！
l 結合新的選配組合：三次元表面粗度測定、簡易水平驅動量測裝置、各種檢出器調整支撐架，可大幅縮短事前準備、測定時間，
進而實現更高的處理能力。
l 最高等級定位速度(X軸：最大80mm/sec，Z軸：最大30mm/sec) 的高精度、多功能、觸針式表面粗度測定機。
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機械能力 |
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SV-3200S4 |
SV-3200H4 |
SV-3200W4 |
SV-3200L4 |
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測定範圍 |
X軸 |
100mm |
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Z1軸 （檢出部） |
800μm / 80μm / 8μm |
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Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
700mm |
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X軸傾斜角度 |
±45（僅限X軸傾斜裝置） |
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探測器探測方法 |
差動電感 |
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解析度 |
X軸 |
0.05μm |
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Z1軸 （檢出部） |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
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Z2軸（列） |
1μm (ABS規模） |
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驅動速度 |
X軸 |
0～80mm/s及手動操作 |
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Z2軸（列） |
0～30mm/s及手動操作 |
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真直精度 |
（0.05+0.001L）μm |
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測定力 |
依據編號(後綴-1：0.75mN、-2：4mN） |
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探針尖端 |
依據編號(後綴-1：60゜, R2μm、-2：90゜, R5μm） |
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底座尺寸（寬×深） |
600×450mm |
1000×450mm |
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材質 |
花崗岩 |
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機械能力 |
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SV-3200S8 |
SV-3200H8 |
SV-3200W8 |
SV-3200L8 |
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測定範圍 |
X軸 |
200mm |
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Z1軸 （檢出部） |
800μm / 80μm / 8μm |
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Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
700mm |
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X軸傾斜角度 |
±45（僅限X軸傾斜裝置） |
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探測器探測方法 |
差動電感 |
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解析度 |
X軸 |
0.05μm |
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Z1軸 （檢出部） |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
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Z2軸（列） |
1μm (ABS規模） |
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驅動速度 |
X軸 |
0～80mm/s及手動操作 |
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Z2軸（列） |
0～30mm/s及手動操作 |
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真直精度 |
（0.1+0.002L）μm |
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測定力 |
依據編號(後綴 -1：0.75mN、-2：4mN） |
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探針尖端 |
依據編號(後綴 -1：60゜, R2μm、-2：90゜, R5μm） |
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底座尺寸（寬×深） |
600×450mm |
1000×450mm |
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材質 |
花崗岩 |
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