產品介紹

  • SV-3200

SV-3200



l 提升使用方便性、更多功能!

l 結合新的選配組合:三次元表面粗度測定、簡易水平驅動量測裝置、各種檢出器調整支撐架,可大幅縮短事前準備、測定時間,
      進而實現更高的處理能力。

l 最高等級定位速度(X軸:最大80mm/sec,Z軸:最大30mm/sec) 的高精度、多功能、觸針式表面粗度測定機。

機械能力

SV-3200S4

SV-3200H4

SV-3200W4

SV-3200L4

測定範圍

X軸

100mm

Z1軸

(檢出部)

800μm / 80μm / 8μm

Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍

300mm

500mm

700mm

X軸傾斜角度

±45(僅限X軸傾斜裝置)

探測器探測方法

差動電感

解析度

X軸

0.05μm

Z1軸

(檢出部)

0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm

Z2軸(列)

1μm (ABS規模)

動速度

X軸

0~80mm/s及手動操作

Z2軸(列)

0~30mm/s及手動操作

真直精度

(0.05+0.001L)μm

測定力

依據編號(後綴-1:0.75mN、-2:4mN)

探針尖端

依據編號(後綴-1:60゜, R2μm、-2:90゜, R5μm)

底座尺寸(寬×深)

600×450mm

1000×450mm

材質

花崗岩


機械能力

SV-3200S8

SV-3200H8

SV-3200W8

SV-3200L8

測定範圍

X軸

200mm

Z1軸

(檢出部)

800μm / 80μm / 8μm

Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍

300mm

500mm

700mm

X軸傾斜角度

±45(僅限X軸傾斜裝置)

探測器探測方法

差動電感

解析度

X軸

0.05μm

Z1軸

(檢出部)

0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm

Z2軸(列)

1μm (ABS規模)

驅動速度

X軸

0~80mm/s及手動操作

Z2軸(列)

0~30mm/s及手動操作

真直精度

(0.1+0.002L)μm

測定力

依據編號(後綴 -1:0.75mN、-2:4mN)

探針尖端

依據編號(後綴 -1:60゜, R2μm、-2:90゜, R5μm)

底座尺寸(寬×深)

600×450mm

1000×450mm

材質

花崗岩