SV-3200
l 提升使用方便性、更多功能!
l 結合新的選配組合:三次元表面粗度測定、簡易水平驅動量測裝置、各種檢出器調整支撐架,可大幅縮短事前準備、測定時間,
進而實現更高的處理能力。
l 最高等級定位速度(X軸:最大80mm/sec,Z軸:最大30mm/sec) 的高精度、多功能、觸針式表面粗度測定機。
機械能力 |
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SV-3200S4 |
SV-3200H4 |
SV-3200W4 |
SV-3200L4 |
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測定範圍 |
X軸 |
100mm |
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Z1軸 (檢出部) |
800μm / 80μm / 8μm |
||||
Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
700mm |
||
X軸傾斜角度 |
±45(僅限X軸傾斜裝置) |
||||
探測器探測方法 |
差動電感 |
||||
解析度 |
X軸 |
0.05μm |
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Z1軸 (檢出部) |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
||||
Z2軸(列) |
1μm (ABS規模) |
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驅動速度 |
X軸 |
0~80mm/s及手動操作 |
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Z2軸(列) |
0~30mm/s及手動操作 |
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真直精度 |
(0.05+0.001L)μm |
||||
測定力 |
依據編號(後綴-1:0.75mN、-2:4mN) |
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探針尖端 |
依據編號(後綴-1:60゜, R2μm、-2:90゜, R5μm) |
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底座尺寸(寬×深) |
600×450mm |
1000×450mm |
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材質 |
花崗岩 |
機械能力 |
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SV-3200S8 |
SV-3200H8 |
SV-3200W8 |
SV-3200L8 |
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測定範圍 |
X軸 |
200mm |
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Z1軸 (檢出部) |
800μm / 80μm / 8μm |
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Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍 |
300mm |
500mm |
700mm |
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X軸傾斜角度 |
±45(僅限X軸傾斜裝置) |
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探測器探測方法 |
差動電感 |
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解析度 |
X軸 |
0.05μm |
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Z1軸 (檢出部) |
0.01μm, 0.001μm, 0.0001μm |
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Z2軸(列) |
1μm (ABS規模) |
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驅動速度 |
X軸 |
0~80mm/s及手動操作 |
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Z2軸(列) |
0~30mm/s及手動操作 |
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真直精度 |
(0.1+0.002L)μm |
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測定力 |
依據編號(後綴 -1:0.75mN、-2:4mN) |
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探針尖端 |
依據編號(後綴 -1:60゜, R2μm、-2:90゜, R5μm) |
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底座尺寸(寬×深) |
600×450mm |
1000×450mm |
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材質 |
花崗岩 |